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產(chǎn)品分類(lèi)
單溫區PE-CVD系統
所屬分類(lèi)：
產(chǎn)品詳情
產(chǎn)品特點(diǎn)
高性能射頻電源.等離子體更穩定；
滑軌式結構能使整個(gè)反應腔室都處于輝光產(chǎn)生區；
可實(shí)現快速升溫和降溫功能；與傳統CVD相比較，生長(cháng)溫度更低。
技術(shù)參數
| 項目 | 型號 | TFE - 1200 - 50 - 220 |
| 最高溫度 | 1150℃（短期） | |
| 額定溫度 | 1100℃ | |
| 推薦升溫速率 | ≤10℃/min | |
| 控制精度 | ±1℃ | |
| 爐管尺寸 | Φ30/50/60*1200mm | |
| 爐膛尺寸 | Φ80*220mm | |
| 加熱區長(cháng)度 | 220mm | |
| 恒溫區長(cháng)度 | 80mm | |
| 加熱元件 | 優(yōu)質(zhì)國產(chǎn)電阻絲 | |
| 額定功率 | 3KW | |
| 供氣系統 |
三路高精度MFC 量程0-500sccm（可定制） |
|
| 射頻電源 |
射頻功：5-500W； 射頻頻：13.56MHz； 匹配方式：自動(dòng)匹配 |
|
| 真空系統 | 雙級旋片真空泵（可定制擴散泵 分子泵等） | |
| 外形尺寸 | 1250*510*810mm | |
具有鋼結構工程專(zhuān)業(yè)承包二級資質(zhì)、建筑工程施工總承包貳級資質(zhì)；公司主營(yíng)產(chǎn)品包括重鋼、輕鋼、網(wǎng)架及檁條、彩鋼板等鋼結構產(chǎn)品；近年來(lái)，公司承接了國內外大型結構件、橋梁、車(chē)庫、標準化廠(chǎng)房等具有較大影響力的一系列項目；產(chǎn)品遠銷(xiāo)白俄羅斯、贊比亞、印尼等國家，得到了一致好評。
關(guān)鍵詞： 單溫區PE-CVD系統
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